マイクロエレクトロニクス用の低誘電率材料

MAEX K; BAKLANOV M R; SHAMIRYAN D; IACOPI F; BRONGERSMA S H; YANOVITSKAYA Z S

文献

J-GLOBAL ID：200902239391095935 整理番号：03A0413619

マイクロエレクトロニクス用の低誘電率材料

Low dielectric constant materials for microelectronics

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=03A0413619&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0413619&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 93 号： 11 ページ： 8793-8841 発行年： 2003年06月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

近年,LSIの配線技術に関して三つの進展があった。第一はダマ...

,...

続きはJDreamIII（有料）にて {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0413619&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

誘電体一般 , 固体デバイス材料

前のページに戻る