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J-GLOBAL ID：200902240432462091   整理番号：04A0255484

プラスチック基板上のZnドープ酸化インジウム膜の最適化と特性

Optimization and Properties of Zn Doped Indium Oxide Films on Plastic Substrate

著者 (3件)： HARA H (Teijin Ltd., Tokyo, JPN) ,  SHIRO T (Teijin Ltd., Tokyo, JPN) ,  YATABE T (Teijin Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 2  ページ： 745-749  発行年： 2004年02月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告では,プラスチック基板に低温(20°C)で蒸着したZnド...

シソーラス用語： *ポリカーボネート ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

引用文献 (18件)：

• 1) S. Sobajima, H. Okaniwa, N. Takagi, I. Sugiyama and K. Chiba: Proc. 6th Int. Vacume Congr., Jpn. J. Appl. Phys. 2 (1974) Suppl. 2-1, p. 475.
• 2) H. Hara and T. Yatabe: Gekkan Display 5 (1999) 41 [in Japanese].
• 3) T. Hanada, I. Shiroishi, N. Saito, T. Shiro and T. Yatabe: Proc. the Ninth Int. Display Workshop 2002, Hiroshima, p. 401.
• 4) Y. Shigesato and D. C. Paine: Thin Solid Films 238 (1994) 44.
• 5) Y. Shigesato, S. Takaki and T. Haranoh: J. Appl. Phys. 71 (1992) 3356.

タイトルに関連する用語 (5件)： プラスチック基板 ,  Zn ,  ドープ ,  酸化インジウム ,  最適化