文献

J-GLOBAL ID：200902240614549079   整理番号：05A0340999

斜め堆積鉄膜の柱状粒子構造と組織の入射角依存性

Incidence Angle Dependences of Columnar Grain Structure and Texture in Obliquely Deposited Iron Films

著者 (2件)： OKAMOTO Kunito (Chiba Univ., Chiba, JPN) ,  ITOH Kikuo (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 44  号： 3  ページ： 1382-1388  発行年： 2005年03月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 柱状粒子構造形成への結晶学的寄与の観点から,種々の堆積速度R...

シソーラス用語： *鉄 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=05A0340999&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (25件)：

• 1) J. M. Nieuwenhuizen and H. B. Haanstra: Philips Tech. Rev. 27 (1966) 87.
• 2) K. Okamoto: J. Sci. Hiroshima Univ. Ser. A 40 (1976) 251.
• 3) H. J. Leamy and A. G. Dirks: J. Appl. Phys. 49 (1978) 3430.
• 4) H. J. Leamy, G. H. Gilmer and A. G. Dirks: Current Topics in Material Science, ed. E. Kaldis (North-Holland, New York, 1980) Vol. 6, p. 309.
• 5) L. Bangjun and H. A. Macleod: Proc. SPIE 540 (1985) 150.

タイトルに関連する用語 (4件)： 堆積 ,  鉄 ,  組織 ,  入射角依存性