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J-GLOBAL ID：200902240868109796   整理番号：04A0123949

マグネトロンスパッタリングに対する60mmΦ超伝導バルク磁石の応用

Application of 60 mmφ superconducting bulk magnet to magnetron sputtering

著者 (9件)： MATSUDA T (DIAX Co., Ltd., Kasugai, JPN) ,  KASHIMOTO S (Nagoya Industrial Sci. Res. Inst., Moriyama-ku, JPN) ,  IMAI A (Nagoya Industrial Sci. Res. Inst., Moriyama-ku, JPN) ,  YANAGI Y (IMRA Material R&D Co., Ltd., Kariya, JPN) ,  ITOH Y (IMRA Material R&D Co., Ltd., Kariya, JPN) ,  IKUTA H (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MIZUTANI U (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAKURAI K (ANELVA Corp., Tokyo, JPN) ,  HAZAMA H (Niigata Univ., Niigata, JPN)
資料名： Advances in Superconductivity  (Advances in Superconductivity)
巻： 15th  号： Pt.1  ページ： 696-703  発行年： 2003年 
JST資料番号： L1458A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： c軸配向した単一分域Sm123バルク超伝導体からなる標題磁石...

シソーラス用語： *高温超伝導体 ,...

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分類 (2件)： 超伝導磁石  (BM04042N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  伝導 ,  バルク ,  磁石 ,  応用