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J-GLOBAL ID：200902240869845860   整理番号：05A0840449

TEM-EELSによる半導体デバイスの解析技術

著者 (5件)： 朝山匡一郎 (ルネサステクノロジ) ,  荒川史子 (ルネサステクノロジ) ,  橋川直人 (ルネサステクノロジ) ,  矢野史子 (ルネサステクノロジ) ,  寺田尚平 (日立 日立研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 66th  号： 0  ページ： 38  発行年： 2005年09月07日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (4件)： TEM ,  EELS ,  半導体デバイス ,  解析