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J-GLOBAL ID：200902241114729174   整理番号：05A0894706

生医学的応用のための横に動く双安定なMEMS DCスイッチ

Laterally Moving Bistable MEMS DC Switch for Biomedical Applications

著者 (5件)： RECEVEUR Rogier A. M. (Medtronic Bakken Res. Center, Maastricht, NLD) ,  MARXER Cornel R. (Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE) ,  WOERING Roel (Technical Univ. Eindhoven, Eindhoven, NLD) ,  LARIK Vincent C. M. H. (Medtronic Bakken Res. Center, Maastricht, NLD) ,  DE ROOIJ Nicolaas-F. (Univ. Neuchatel, Neuchatel, CHE)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 14  号： 5  ページ： 1089-1098  発行年： 2005年10月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薬液給送の多くの分野では,埋込鉛電極多重装置を通して注入され...

シソーラス用語： *RIE【エッチング】 ,...
準シソーラス用語： DRIE

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分類 (3件)： 医療用機器装置  (GA05020L) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 医学 ,  応用 ,  MEMS ,  DC