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J-GLOBAL ID：200902241241570184   整理番号：09A0136222

金属メッシュを用いた薄いPET膜厚のテラヘルツセンシング

Terahertz Sensing of Thin Poly(ethylene Terephthalate) Film Thickness Using a Metallic Mesh

著者 (9件)： YOSHIDA Shigeki (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KATO Eiji (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KATO Eiji (Advantest Lab., Ltd., Sendai, JPN) ,  SUIZU Koji (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  NAKAGOMI Yoichi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  OGAWA Yuichi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KAWASE Kodo (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KAWASE Kodo (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KAWASE Kodo (RIKEN, Sendai, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 2  号： 1  ページ： 012301.1-012301.3  発行年： 2009年01月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属メッシュ,すなわち等間隔の開口部を持った金属薄膜はテラヘルツ領域において帯域フィルタとして働く。フィルタの透過率は開口部面積比よりもかなり高く,透過スペクトルは開口部内と上部の屈折率の影響を受ける。それ故,試料を金属表面に付着させることができれば,高感度センシングあるいはイメージコンジットとして金属メッシュ膜を用いることができる。金属メッシュセンシングと画像処理ソフトを用いてポリエチレンテレフタレート(PET)膜の1μmの厚さの違いの検出,および2次元(2D)画像の記録に成功したことを報告する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ポリエチレンテレフタレート ,  *膜厚 ,  *電磁波 ,  検出 ,  帯域フィルタ ,  *金属薄膜 ,  高分子薄膜 ,  *計測 ,  記録 ,  透過率 ,  屈折率 ,  *メッシュ網 ,  画像処理 ,  *テラヘルツ波
準シソーラス用語： PET【重合体】 ,  テラヘルツセンシング ,  画像記録

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  光学情報処理  (BD03060T)

引用文献 (21件)：

• KAWASE, K. Opt. Express. 2003, 11, 2549
• MIYAMARU, F. Phys. Rev. B. 2008, 77, 045124
• AZAD, A. K. Opt. Lett. 2006, 31, 2637
• ULRICH, R. Infrared Phys. 1967, 7, 37
• SAKAI, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1969, 8, 1046

タイトルに関連する用語 (3件)： 金属メッシュ ,  PET ,  膜厚