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J-GLOBAL ID：200902241485454844   整理番号：03A0118263

SEM・TEMによる表面・断面観察技術 極低加速走査電子顕微鏡でみた実材料表面

著者 (3件)： 名越正泰 (JFE日本鋼管) ,  河野崇史 (JFE日本鋼管) ,  佐藤馨 (JFE日本鋼管)
資料名： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 54  号： 1  ページ： 31-34  発行年： 2003年01月01日 
JST資料番号： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SEMにおける,極低加速電圧での二次電子像観察の例を紹介した...

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： 加速電圧

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分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (4件)：

• REIMER, L. Image Formation in Low-Voltage Scanning Electron Microscopy. 1993
• REIMER, L. Scanning Electron Microscopy. 1998
• FROSIEN, J. J. Vac. Sci. Technol. 1989, B7, 1874
• POHL, D. Prakt. METallogr. 1996, 33, 235

タイトルに関連する用語 (5件)： SEM ,  TEM ,  観察 ,  加速 ,  走査電子顕微鏡