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J-GLOBAL ID：200902241832724679   整理番号：09A1147016

PSD(位置検出素子)を用いた主軸変位モニタリングと工具位置の制御

Monitoring of Spindle Displacement by utilizing Position Sensitive Detector and Control of Tool Position

著者 (2件)： 横山和宏 (新潟大 工) ,  新發田雄史 (新潟大 大学院自然科学研究科)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 75  号： 11  ページ： 1340-1344  発行年： 2009年11月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報では工作機械の精度向上に関連して,回転主軸に固定したアダプタにスリットを作製し,このスリットを通過したレーザ光を,主軸から離れた位置に設置したPSDで受光し,この照射位置の変化を測定することにより,主軸変位をリアルタイムでモニタリングするとともに,工具位置変位を制御する方法について実験的に研究した。これにより得た主な知見を次に示した。1)幅が広いレーザ光,スリットを有する主軸,およびPSD(位置検出素子)を用いて,並進変位および熱変位を総合した主軸変位を精度良くモニタリングできること,2)測定変位に基いて,工具位置変位と目標変位との差を-0.89~+1.91μmと,精度良く制御できること,3)PSDを加工領域からかなり離れた位置に設置して使用できるので,クーラントや切屑が存在する実際の加工でも適用できること。

シソーラス用語： *工作機械 ,  *主軸 ,  位置決め ,  位置測定 ,  監視 ,  レーザビーム ,  光学スリット ,  熱膨張 ,  検出器 ,  実時間処理 ,  アクチュエータ ,  *切削工具 ,  制御 ,  熱変形 ,  位置制御 ,  *位置検出 ,  圧電アクチュエータ ,  *変位制御 ,  熱変位 ,  *加工精度
準シソーラス用語： *工作精度

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (14件)：

• 1) J.B.Bryan: International Status of Thermal Error Research, Annals of the CIRP, 16(1968)203.
• 2) 吉田嘉太郎: 工作機械の熱変形について,精密機械,36 ,1(1970)55.
• 3) 幸田盛堂,奥田長三,村田悌二:レーザ光の反射光点変位検出による工作機械コラムの熱変位制御,精密工学会誌,55,9(1989)1706.
• 4) 吉田嘉太郎:立フライス盤の熱変形に関する研究(第2報 相対変位と対策),日本機械学会論文集 第3部,42,361(1976)2955.
• 5) 奥島啓弐,垣野義昭,菊池敏彦:工作機械の熱変形に関する研究(第2報 内部熱源による非定常熱変形),精密機械,38,7(1972)565.

タイトルに関連する用語 (6件)： PSD ,  位置検出素子 ,  主軸 ,  変位 ,  モニタリング ,  工具位置