抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ガラスレンズ成型において,金型のレンズ成型面には,ガラスと金型間の離形性を良くするために,また,成型面の保護のために,金属系薄膜がコーティングされる。しかし,レンズの高精度化,高屈折率化,量産化がよりー層進み,金属膜では対応しきれない様々な問題点が浮上しつつある。この問題点を克服できる膜として期待されているのが,DLC(diamond like carbon)に代表されるアモルファス構造を持ったカーボン系の膜である。DLC膜の形成方法に,真空アーク法がある。真空アーク法により形成されたDLC膜は,膜中の不純物が数%以下であり,非常に高温耐久性に優れているのが特徴である。しかし,無機炭素の固体をカソ-ドとしたアーク放電によって蒸着するため,蒸着源から発生する数~数10μm程度のマクロパーティクルと呼ばれる粒子が膜中に取り込まれる。この結果,レンズ金型成型面用のDLC膜としては適さない平滑性となってしまう。そこで,高温耐久性に優れた膜質を保ちつつ,平滑性良好なDLC膜を形成し得る偏向磁場型フィルタードアーク(FVA: Filtered Vacuum Arc)装置を開発した。この装置では,グラファイトカソードとアノード間のアーク放電により生成したプラズマ中の荷電粒子,特にカーボンイオンを電磁コイルに流した電流制御により,L字形ダクト内で90°に曲げ,基板にDLCを成膜できる。一方,同時に発生したマクロパーティクルは電気的に中性な粒子であるため磁場偏向の影響を受けることなく,L字形ダクト内壁面に衝突,捕集される。これにより,FVA法により形成した水素フリー・ナノフラットなDLC膜は,レンズ成型用超精密金型の成型面ヘの保護膜ならびに離形性膜として適していることが明らかとなった。
