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J-GLOBAL ID:200902242966292054   整理番号:04A0858269

インゴット焼きなましプロセスの間のGaAsバルク単結晶の転位密度解析 いくつかの計算法の比較

Dislocation density analysis of GaAs bulk single crystal during ingot annealing process (comparison among several computational methods)
著者 (3件):
資料名:
巻: 271  号: 3/4  ページ: 358-367  発行年: 2004年11月15日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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半導体の結晶成長 

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