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J-GLOBAL ID：200902243493960050   整理番号：05A0995530

Si(100)上のダイヤモンド/SiC/Siの円錐状構造のマイクロ波プラズマ化学蒸着

Microwave plasma chemical vapor deposition of cone-like structure of diamond/SiC/Si on Si (100)
著者 (2件)：
YAN Jhih-kun

YAN Jhih-kun について

(Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chiao Tung Univ., 1001 Ta Hsueh Rood, Hsinchu, Taiwan 300, TWN)

Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chiao Tung Univ., 1001 Ta Hsueh Rood, Hsinchu, Taiwan 300, TWN について

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CHANG Li

CHANG Li について

(Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chiao Tung Univ., 1001 Ta Hsueh Rood, Hsinchu, Taiwan 300, TWN)

Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Chiao Tung Univ., 1001 Ta Hsueh Rood, Hsinchu, Taiwan 300, TWN について


資料名：
Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)

Diamond and Related Materials について


巻： 14  号： 11-12  ページ： 1770-1775  発行年： 2005年11月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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シソーラス用語：
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*DLC膜

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分類 (1件)：
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その他の無機化合物の薄膜 
(BK14060A)

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ダイヤモンド

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SiC

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円錐

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マイクロ波プラズマ化学蒸着

マイクロ波プラズマ化学蒸着 について


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