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J-GLOBAL ID：200902243671102306   整理番号：06A0576757

高輝度の無電極Z-ピンチ型EUV光源の測定,検査およびレジストの現像への応用

Application of a high-brightness electrodeless Z-pinch EUV source for metrology, inspection, and resist development.

著者 (5件)： HORNE Stephen F. (Energetiq Technol. Inc.) ,  BESEN Matthew M. (Energetiq Technol. Inc.) ,  SMITH Donald K. (Energetiq Technol. Inc.) ,  BLACKBOROW Paul A. (Energetiq Technol. Inc.) ,  D’AGOSTINO Robert (Energetiq Technol. Inc.)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 6151  号： Pt.1  ページ： 61510P.1-61510P.10  発行年： 2006年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,EUV(極端紫外線)光のための新しい電極を基本...

シソーラス用語： Zピンチ ,...

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分類 (2件)： 光源  (BD07020D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高輝度 ,  無電極 ,  EUV光源 ,  検査 ,  レジスト ,  現像 ,  応用