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J-GLOBAL ID：200902243686822704   整理番号：09A0135290

多結晶立方晶窒化ホウ素のCO₂レーザ/ウォータジェット切断

CO₂ Laser/Waterjet Cutting of Polycrystalline Cubic Boron Nitride

著者 (4件)： KALYAN-SUNDARAM D. (Iowa State Univ., IA, USA) ,  WILLE J. (Iowa State Univ., IA, USA) ,  SHROTRIYA P. (Iowa State Univ., IA, USA) ,  MOLIAN P. (Iowa State Univ., IA, USA)
資料名： Technical Paper. Society of Manufacturing Engineers  (Technical Paper. Society of Manufacturing Engineers)
ページ： 9P  発行年： 2008年 
JST資料番号： A0479B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化アルミニウム(AlN)バインダー相を持つ電気絶縁された多結晶立方晶窒化ホウ素(PCBN)工具ブランクのCO₂レーザ切断の新しい切断機構について調べた。酸素援用レーザおよびレーザ/ウォータジェット(LWJ)加工システムを用いて,PCBNウエハを切断した。この材料除去機構は,酸素リッチ環境下のAlNの高温酸化およびレーザビームとウォータジェットで生じる熱勾配に伴う引張応力の発達に起因した,制御されたPCBNウエハの破断であると特定された。その結果は,酸素支援レーザ切断はPCBNウエハの分割を低エネルギー密度で可能にするが,LWJ切断に比べて大きな熱影響部と大きな勾配とによる劣った切断品質であることが分かった。また,LWJ製造プロセスは,PCBN工具ブランクの加工や切断のために現状用いられている方法に対し,優れた代替として更に発展すると思われる。

シソーラス用語： *窒化ホウ素 ,  炭酸ガスレーザ ,  噴流 ,  *切断 ,  窒化アルミニウム ,  *工具 ,  機構 ,  円板 ,  高温酸化 ,  温度勾配 ,  引張応力 ,  熱影響 ,  加工
準シソーラス用語： PCBNウエハ ,  ウォータージェット ,  切断機構 ,  *多結晶立方晶窒化ホウ素

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多結晶 ,  立方晶窒化ホウ素 ,  CO2レーザ ,  ウォータジェット切断