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J-GLOBAL ID：200902243760653162   整理番号：08A1050792

垂直パターン形成媒体におけるパターン処理による雑音解析と最適設計

Noise analysis and design optimization due to pattern processing in perpendicular patterned media

著者 (5件)： MIURA Kenji (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  MURAKAMI Yusuke (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  AOI Hajime (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  MURAOKA Hiroaki (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  NAKAMURA Yoshihisa (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
資料名： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (Journal of Magnetism and Magnetic Materials)
巻： 320  号： 22  ページ： 2904-2907  発行年： 2008年11月 
JST資料番号： H0644A  ISSN： 0304-8853  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パターン形成媒体では,処理のゆらぎによるドットの形状特性と分解能が,雑音の主たる原因になる。本論文では,エッジの粗さによる雑音,およびリソグラフィー分解能に起因する丸味による雑音を解析した。まず,エッジの粗さは,半導体分野の方法で再形成し,ドットの物理的パターンを作り出した。著者らは,過剰エッチングによって減少した面積の比率と共に変化するリソグラフィーの分解能による物理的パターンの丸みを加えた。その結果は,それらの雑音源が重大な誤差の原因になったことを示した。ドットの処理ガイダンスを定式化した。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *垂直磁気記録 ,  パターン形成 ,  記憶媒体 ,  *雑音解析 ,  最適設計 ,  リソグラフィー ,  分解能 ,  表面粗さ ,  誤差解析 ,  指針 ,  *記録 ,  数学 ,  解析 ,  誤差論

分類 (1件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 垂直 ,  パターン形成 ,  媒体 ,  雑音解析 ,  最適設計