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J-GLOBAL ID：200902244432868808   整理番号：09A0946120

MEMSマイクロホンの落下試験性能を改善する手法

A method for improving the drop test performance of a MEMS microphone

著者 (6件)： WINTER Matthias (Univ. Saarlandes, Saarbruecken, DEU) ,  AOUN Seifeddine Ben (TU Muenchen, Munich, DEU) ,  FEIERTAG Gregor (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  LEIDL Anton (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  SCHEELE Patrick (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  SEIDEL Helmut (Univ. Saarlandes, Saarbruecken, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7362  ページ： 736214.1-736214.12  発行年： 2009年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電気機械コンデンサマイクロホン(MP)が携帯電話用として一般的になったが,MEMSMPは膜厚を薄くして感度を高めるので落下衝撃に弱い。今回,MEMSMPの衝撃強度を高めるため,膜の近くに安定な保護層を設置する方式を開発した。系の気流を記述するアナログ等価回路とMEMSチップの膜モデルを構築し,密封背面容積型MEMS構造をモデル化した。保護層は多数の小さな孔を有し,空気圧に対する低域フィルタを形成して高周波の圧力変化を低減し,共振励起による膜の損傷を防止する。感度の周波数応答を計算した。

シソーラス用語： *マイクロホン ,  *MEMS ,  落下試験 ,  *衝撃強さ ,  保護膜 ,  低域フィルタ ,  等価回路 ,  感度 ,  周波数応答
準シソーラス用語： コンデンサマイクロホン ,  空気フィルタ

分類 (1件)： オーディオ機器  (NC06010U)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  マイクロホン ,  落下試験 ,  手法