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J-GLOBAL ID：200902245595947370   整理番号：07A0169658

サブミリ波帯用超伝導ミキサ素子作製行程における超伝導薄膜のリアクティブエッチング

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著者 (1件)：
石井孝一

石井孝一 について

(木更津工高専)

木更津工高専 について


資料名：
木更津工業高等専門学校紀要  (Bulletin of Kisarazu National Technical College)

木更津工業高等専門学校紀要 について


号： 40  ページ： 13-18  発行年： 2007年01月31日 
JST資料番号： S0774A  ISSN： 0285-7901  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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サブミリ波帯及びテラヘルツ領域における高感度受信機の開発にお...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*サブミリ波

サブミリ波 について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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反応性エッチング

反応性エッチング について


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分類 (2件)：
分類
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その他の超伝導応用装置 
(BM04044V)

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,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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サブミリ波

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超伝導ミキサ

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, 
作製

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行程

行程 について

, 
超伝導薄膜

超伝導薄膜 について


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