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J-GLOBAL ID:200902245595947370   整理番号:07A0169658

サブミリ波帯用超伝導ミキサ素子作製行程における超伝導薄膜のリアクティブエッチング

著者 (1件):
資料名:
号: 40  ページ: 13-18  発行年: 2007年01月31日 
JST資料番号: S0774A  ISSN: 0285-7901  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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サブミリ波帯及びテラヘルツ領域における高感度受信機の開発にお...
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分類 (2件):
分類
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その他の超伝導応用装置  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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