東北大学 未来情報産業研究館 スーパークリーンルーム:フラクチュエーションフリーファシリティー

花岡秀夫; 大見忠弘; 白井泰雪

文献

J-GLOBAL ID：200902245708040287 整理番号：04A0768630

東北大学未来情報産業研究館スーパークリーンルーム:フラクチュエーションフリーファシリティー

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資料名：
巻： 42 号： 3 ページ： 185-192 発行年： 2004年09月30日
JST資料番号： G0779A ISSN： 0023-5032 CODEN： KUSEBF 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

2001年に完工した標題のクリーンルーム施設について紹介した...

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空気浄化

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