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J-GLOBAL ID：200902246191492952   整理番号：06A0742176

双極型プラズマ系のイオン打ち込みにより調製したDLC膜のRamanスペクトル

Raman Spectra of DLC Films Prepared by Bipolar-type Plasma Based Ion Implantation

著者 (6件)： NAKAO Setsuo (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  KIM Jongduk (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  CHOI Junho (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  MIYAGAWA Soji (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  MIYAGAWA Yoshiko (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya) ,  IKEYAMA Masami (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya)
資料名： Transactions of the Materials Research Society of Japan  (Transactions of the Materials Research Society of Japan)
巻： 31  号： 3  ページ： 685-688  発行年： 2006年09月 
JST資料番号： L4468A  ISSN： 1382-3469  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 双極型プラズマ系のイオン打ち込みにより調製したDLC膜の構造...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (3件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (18件)：

• J. Robertson, Materials Science and Engineering, R37, 129-281(2002).
• B. Oral, R. Hauert, U. Muller and K.-H. Ernst, Diamond Rel. Mater., 4, 482-487(1995).
• M. Iwaki and H. Watanabe, Nucl. Instr. Methods, B 141, 206-210(1998).
• K. Awazu, N. Sakudo, H. Yasui, E. Saji, K. Okazaki, Y. Hasegawa, N. Ikenaga, K. Kanda, Y. Nambo and K. Saitoh, Surf Coat. Technol., 136, 172-175(2001)
• J. Schwan, S. Ulrich, V. Batori, H. Ehrhardt and S. R. P. Silva, J. Appl. Phys., 80, 440-447(1996).

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  イオン打ち込み ,  調製 ,  DLC膜 ,  Ramanスペクトル