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文献
J-GLOBAL ID:200902246191492952   整理番号:06A0742176

双極型プラズマ系のイオン打ち込みにより調製したDLC膜のRamanスペクトル

Raman Spectra of DLC Films Prepared by Bipolar-type Plasma Based Ion Implantation
著者 (6件):
資料名:
巻: 31  号:ページ: 685-688  発行年: 2006年09月 
JST資料番号: L4468A  ISSN: 1382-3469  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (3件):
分類
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セラミック・陶磁器の製造  ,  炭素とその化合物  ,  その他の無機化合物の薄膜 
引用文献 (18件):
  • J. Robertson, Materials Science and Engineering, R37, 129-281(2002).
  • B. Oral, R. Hauert, U. Muller and K.-H. Ernst, Diamond Rel. Mater., 4, 482-487(1995).
  • M. Iwaki and H. Watanabe, Nucl. Instr. Methods, B 141, 206-210(1998).
  • K. Awazu, N. Sakudo, H. Yasui, E. Saji, K. Okazaki, Y. Hasegawa, N. Ikenaga, K. Kanda, Y. Nambo and K. Saitoh, Surf Coat. Technol., 136, 172-175(2001)
  • J. Schwan, S. Ulrich, V. Batori, H. Ehrhardt and S. R. P. Silva, J. Appl. Phys., 80, 440-447(1996).
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