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J-GLOBAL ID：200902246215693466   整理番号：04A0740856

シリコンMEMSの新潮流

New trend in silicon MEMS

著者 (1件)： 江刺正喜 (東北大 未来科学技術共同研セ)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 73  号： 9  ページ： 1158-1165  発行年： 2004年09月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS(微小電気機械システム)は,集積回路製造技術を発展さ...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (39件)：

• TODA, R. Tech. Dig. MEMS 2002, Las Vegas. 2002, 710
• MURAKOSHI, T. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 2468
• TANAKA, S. Tech. Dig. Power MEMS 2002, Tsukuba. 2002, 6
• GENDA, T. Proc. IEEE MEMS 2004, Maastricht. 2004, 470
• LIU, Y. Proc. MEMS 2001, Interlaken. 2001, 220

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコン ,  MEMS ,  潮流