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J-GLOBAL ID：200902246513550490   整理番号：08A0392881

テトラメトキシシランの加水分解による微粉シリカ合成に及ぼす装置形状とガス混合の影響

Effect of Reactor Shape and Gas Mixing on Gas Phase Production of Fine SiO₂ Particles by Hydrolysis of Tetramethoxysilane

著者 (5件)： 小島紀徳 (成蹊大学理工学部 物質生命理工学科) ,  舘健悟 (成蹊大学理工学部 物質生命理工学科) ,  境純一 (成蹊大学理工学部 物質生命理工学科) ,  加藤茂 (成蹊大学理工学部 物質生命理工学科) ,  里川重夫 (成蹊大学理工学部 物質生命理工学科)
資料名： 化学工学論文集
巻： 34  号： 2  ページ： 261-265 (J-STAGE)  発行年： 2008年 
JST資料番号： S0110B  ISSN： 0386-216X  CODEN： KKRBAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高純度微粉シリカは半導体産業などで広く使われている.著者らは,前報でテトラメトキシシラン(TEMS)の気相加水分解でシリカの微粉生成が可能であることを示した.本論文では,装置形状,粒子性状特に粒径に与える影響について調べた結果を報告する.Type 1-3の3種類の形状の異なる反応器を用いた.Type 1は前報で用いられたものであり,TEMSは水蒸気とともに反応器上部より同方向に流入し,加熱されながら反応する.一方,Type 2および3では,TEMSは装置下方より流入,加熱された水蒸気と混合される.Type 3ではType 2に比べ水の導入管は短く,混合部温度はより高温である.平均粒子径はType 1, 2, 3の順に小さくなった.この結果から,水蒸気共存下でTEMSを急速に加熱することによってより小さい微粉粒子が生成することが示された.この条件下では異相反応による粒子成長が抑えられ,核生成反応のみが加速されたものと考えられる.このように反応器形状を変えることでガス混合条件を変え,ひいては水蒸気共存下でのTEMSの加熱条件が変わり,生成シリカ粒子の平均粒径が変わったものと考えられる.(著者抄録)

シソーラス用語： *加水分解 ,  *微粉体 ,  化学合成 ,  *反応器 ,  形態 ,  *混合 ,  気体 ,  気相反応 ,  固体粒子 ,  粒径 ,  水蒸気 ,  核形成 ,  加熱 ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  形状

分類 (2件)： 反応操作(単位反応)  (XE01040I) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

物質索引 (1件)： テトラメトキシシラン

引用文献 (3件)：

• Kojima, T., T. Uchiyama, S. Kato, H. Shibuya and S. Uemiya; “Gas-Phase Synthesis of Fine Silica Particles from Tetramethoxysilane,” Kagaku Kogaku Ronbunshu, 30, 306–310 (2004)
• Kojima, T., T. Uchiyama, D. Murata, S. Kato, Y. Watanabe and H. Shibuya; “Gas-Phase Conversion of Tetramethoxysilane to Trimethoxysilane,” Kagaku Kogaku Ronbunshu, 31, 115–117 (2005)
• Effect of Reactor Shape and Gas Mixing on Gas Phase Production of Fine SiO₂ Particles by Hydrolysis of Tetramethoxysilane

タイトルに関連する用語 (4件)： テトラメトキシシラン ,  加水分解 ,  微粉 ,  シリカ