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J-GLOBAL ID：200902246686492584   整理番号：07A0820649

ナノメータ厚さの薄い黒鉛膜の化学蒸着

Chemical vapor deposition of thin graphite films of nanometer thickness

著者 (5件)： OBRAZTSOV A.n. (Univ. of Joensuu, Joensuu 801101, FIN) ,  OBRAZTSOV A.n. (Moscow State Univ., Moscow 119992, RUS) ,  OBRAZTSOVA E.a. (Moscow State Univ., Moscow 119992, RUS) ,  TYURNINA A.v. (Moscow State Univ., Moscow 119992, RUS) ,  ZOLOTUKHIN A.a. (Moscow State Univ., Moscow 119992, RUS)
資料名： Carbon  (Carbon)
巻： 45  号： 10  ページ： 2017-2021  発行年： 2007年09月 
JST資料番号： H0270B  ISSN： 0008-6223  CODEN： CRBNA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： DC放電により活性化した水素とメタンの混合物からの化学蒸着(...

シソーラス用語： *超薄膜 ,...
準シソーラス用語： *黒鉛

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノメータ ,  厚さ ,  黒鉛 ,  化学蒸着