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J-GLOBAL ID：200902246783432316   整理番号：05A1021582

低熱膨張ガラス製長尺ブロックゲージの光波干渉計による校正不確かさの評価

Uncertainty Evaluation for the Low Thermal Expansion Glass Gauge Blocks by Optical Interferometry

著者 (3件)： 尾藤洋一 (産業技術総合研) ,  大沢尊光 (産業技術総合研) ,  高辻利之 (産業技術総合研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 71  号： 5  ページ： 602-605  発行年： 2005年05月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 物体の形状や寸法を測定する装置の高精度化に伴い,その校正に用...

シソーラス用語： *ブロックゲージ ,...
準シソーラス用語： 低熱膨張ガラス

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (4件)：

• 尾藤洋一. 3本の安定化レーザを用いた長尺ブロックゲージ干渉計の開発. 精密工学会誌. 2002, 68, 4, 744
• BITOU, Y. Compact I_2-stabilized frequency doubled Nd : YAG laser for long gauge block interferometer. Jpn. J. Appl. Phys. 2003, 42, 5, 2867
• BITOU, Y. Rubidium stabilized diode laser for high precision interferometer. Opt. Eng. 2004, 43, 4, 900
• 飯塚幸三監修. 計測における不確かさの表現のガイド. 1996

タイトルに関連する用語 (9件)： 低熱膨張 ,  ガラス ,  長尺 ,  ブロックゲージ ,  光波 ,  干渉計 ,  校正 ,  不確かさ ,  評価