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J-GLOBAL ID：200902246840396291   整理番号：05A0487356

プラズマ科学の開発と応用 プラズマを用いるナノ結晶炭素構造体研究の新展開

Nano-crystalline Carbon Structures Using Plasma Processes

著者 (5件)： 長谷川雅孝 (産業技術総合研) ,  津川和夫 (産業技術総合研) ,  石原正統 (産業技術総合研) ,  中村挙子 (産業技術総合研) ,  古賀義紀 (産業技術総合研)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 56  号： 6  ページ： 440-446  発行年： 2005年06月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コンピュータの外部記憶装置である磁気ハードディスクは,読出し...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...
準シソーラス用語： プラズマ反応

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (9件)： プラズマ ,  科学 ,  開発 ,  応用 ,  ナノ結晶 ,  炭素 ,  構造体 ,  研究 ,  展開