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J-GLOBAL ID:200902246985392731   整理番号:04A0626008

超高品質炭化ケイ素単結晶

Ultrahigh-quality silicon carbide single crystals
著者 (8件):
資料名:
巻: 430  号: 7003  ページ: 1009-1012  発行年: 2004年08月26日 
JST資料番号: D0193B  ISSN: 0028-0836  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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炭化ケイ素(SiC)は優れた物理的,機械的,電子的特性をもつ...
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半導体の結晶成長 
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