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J-GLOBAL ID：200902247268862460   整理番号：05A0252165

RF-PECVDリアクタ中の流れ場に対するシャワーヘッド形状の影響

Effects of showerhead shapes on the flowfields in a RF-PECVD reactor

著者 (4件)： KIM Y-J (SungKyunKwan Univ., Suwon, KOR) ,  BOO J-H (SungKyunKwan Univ., Suwon, KOR) ,  HONG B (SungKyunKwan Univ., Suwon, KOR) ,  KIM Y J (SungKyunKwan Univ., Suwon, KOR)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 193  号： 1/3  ページ： 88-93  発行年： 2005年04月01日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 縦型熱高周波PECVD装置をモデルとして,シャワーヘッドの形...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： 相対成長率 ,...

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分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (5件)： RF ,  PECVD ,  リアクタ ,  流れ場 ,  シャワーヘッド