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J-GLOBAL ID：200902247834865006   整理番号：08A0558098

Lamb波の良好な特性を用いた水素ガスセンサ

Hydrogen Gas Sensor Using Good Characteristics of Lamb Wave

著者 (3件)： YAMAMOTO Naoki (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  NAKAGAWA Yasuhiko (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN) ,  KAKIO Shoji (Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 5 Issue 2  ページ： 4024-4028  発行年： 2008年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Lamb波はその波長が基板厚みに匹敵するために高密度状態で存在している。多くのモードで上,下面の境界を通して伝搬する。この報告で,Lamb波の良好な特性を用いて作製する水素ガスセンサを提案した。理論解析と実験から検出板の膜厚とLamb波モード依存性を明らかにした。デバイスの圧電基板にはYカットZ方向伝搬のLiNbO₃基板(厚み91μm,両面研磨)を使用した。デバイス表面に波長100μmの交差指トランスデューサを設けた:RFスパッタリングプロセスにより裏面に敏感な膜を付着させた。敏感膜には銀パラジウム合金を用いた。水素濃度9.1%で最大周波数シフトは9.21ppmであった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  基板 ,  圧電体 ,  *ニオブ酸リチウム ,  信号変換器 ,  検出 ,  銀合金 ,  パラジウム含有合金 ,  金属薄膜 ,  Lamb波 ,  周波数シフト ,  結合係数
準シソーラス用語： 交差指形変換器 ,  *水素センサ ,  電気機械結合係数

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

引用文献 (14件)：

• N. Iwata, T. Abe, T. Tsuji, T. Mihara, S. Akao, and K. Yamanaka: Jpn. J. Appl. Phys. 46(2007) 4532.
• C. Christofides and A. Mandelis: J. Appl. Phys. 68(1990) R1.
• R. C. Hughes and W. K. Schubert: J. Appl. Phys. 71(1992) 542.
• M. A. Butler: Appl. Phys. Lett. 45(1984) 1007.
• Y. Yamanaka, S. Ishikawa, N. Nakaso, N. Takeda, T. Mihara, and Y. Tsukahara: Proc. 2003 IEEE Ultrasonics Symp., 2004, p.299.

タイトルに関連する用語 (3件)： Lamb波 ,  水素 ,  ガスセンサ