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J-GLOBAL ID：200902247988226685   整理番号：08A1184072

ボロメータ型非冷却THzアレイセンサの開発

著者 (1件)： 小田直樹 (NEC)
資料名： 検査技術  (Inspection Engineering (Tokyo))
巻： 13  号： 12  ページ： 32-38  発行年： 2008年12月01日 
JST資料番号： L3524A  ISSN： 1342-9825  CODEN： KGEIAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 室温動作で使い勝手が良く実時間イメージングが可能な高感度THzアレイセンサはほとんど存在しない。現製品の非冷却赤外線アレイセンサの画素構造(金属薄膜)の改良(試作)によりテラヘルツ(THz)感度を5~8倍,更に信号処理により信号雑音比を1桁以上向上させた。THzでの高透過率材料の開発では,高比抵抗シリコン(Si)が,また無反射コートとしてパリレンが適していることが分り,画素への入射光量を3~4倍向上させた。非冷却THzアレイセンサは実時間イメージング用の比較的安価なキーデバイスとして非常に有望である。

シソーラス用語： ボロメータ ,  *センサアレイ ,  赤外検出器 ,  電磁波 ,  SN比 ,  透過率 ,  画素 ,  高感度 ,  画像処理 ,  室温 ,  信号処理 ,  技術開発 ,  金属薄膜 ,  ポリキシリレン ,  *テラヘルツ波 ,  パリレン
準シソーラス用語： *テラヘルツ

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  レーザ一般  (BD04030T)

タイトルに関連する用語 (3件)： ボロメータ ,  アレイセンサ ,  開発