1) R. Levi-Setti : Scanning Electron Microscopy, 1 (1983), 1.
2) K. Nikawa : J. Vac. Sci. Technol., B9 (1991) 2556.
3) 裏 克巳 : 電子光学 (共立出版, 1979) p183.
4) K. Sakaguchi, K. Hoshino, T. Sakata, T. Ishimoto, D. Kamuki, T. Goto, K. Kumagai and T. Sekine : Proceeding of LSI Testing Symposium, Japan (1996) 152.