高い空間・時間分解能を付与した平面型破壊・亀裂発生センサのための金属酸化物系半導体に関する研究

文献

J-GLOBAL ID：200902248086473066 整理番号：05A0504225

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資料名：
号： 24 ページ： 160-166 発行年： 2005年05月
JST資料番号： J0661A 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

破壊検知センサに用いる半導体の酸化による作製方法の条件を銅ワ...

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酸化物薄膜 , 塩基,金属酸化物

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