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J-GLOBAL ID：200902248103015913   整理番号：09A0696245

酸化亜鉛,多機能材料:材料からデバイス応用まで

Zinc oxide, a multifunctional material: from material to device applications

著者 (8件)： FORTUNATO E. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  GONCALVES A. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  PIMENTEL A. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  BARQUINHA P. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  GONCALVES G. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  PEREIRA L. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  FERREIRA I. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT) ,  MARTINS R. (New Univ. Lisbon, Caparica, PRT)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 96  号： 1  ページ： 197-205  発行年： 2009年07月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透明酸化物半導体薄膜,特に高周波マグネトロンスパッタリングによって室温で成膜した多機能酸化亜鉛薄膜の最近の進展について報告する。薄膜蒸着条件の制御によって,アンドープ材料で真性半導体的特性を,又はドーピングによってn型あるいはp型半導体挙動の材料を得ることができる。本報ではn型ドープ酸化亜鉛薄膜の太陽電池あるいは位置有感センサなどのオプトエレクトロニクスデバイスの透明電極への応用及びアンドープ酸化亜鉛の全透明薄膜トランジスタへの応用に関する著者らの経験について述べた。ZnOの特性のなかの特徴的な三つの利点について触れる。先ずZnOは3.4eVの直接バンドギャップ半導体で近紫外線発光性であること,次いでその非心対称性に起因して電気機械センサ及びトランスデューサ応用にとって重要な圧電性を有すること,最後にZnOは生体適合性材料であり保護コーティング無しで生物医学応用に使用可能であることである。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  化合物半導体 ,  位置有感検出器 ,  透明電極 ,  X線回折 ,  *ガリウム ,  *ドーピング ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  *電気抵抗率 ,  キャリア密度 ,  *Hall移動度 ,  薄膜トランジスタ ,  *レビュー ,  半導体薄膜 ,  透明導電膜 ,  圧電気 ,  生体適合性 ,  *光学定数 ,  透過率 ,  機能材料
準シソーラス用語： ワイドバンドギャップ半導体

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸化亜鉛 ,  機能材料 ,  応用