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J-GLOBAL ID：200902248188665881   整理番号：07A1013632

ゲート/絶縁膜に用いられる重元素のTEM-EELSによる局所的な結合状態分析

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著者 (5件)：
田中洋毅

田中洋毅 について

(東芝 研開セ)

東芝 研開セ について

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市原玲華

市原玲華 について

(東芝 研開セ)

東芝 研開セ について

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土屋義規

土屋義規 について

(東芝 研開セ)

東芝 研開セ について

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小山正人

小山正人 について

(東芝 研開セ)

東芝 研開セ について

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竹野史郎

竹野史郎 について

(東芝 研開セ)

東芝 研開セ について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 68th  号： 2  ページ： 781  発行年： 2007年09月04日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*絶縁膜

絶縁膜 について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*EELS法

EELS法 について

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分類 (1件)：
分類
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半導体の格子欠陥 
(BK12040Q)

半導体の格子欠陥 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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ゲート

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絶縁膜

絶縁膜 について

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重元素

重元素 について

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TEM

TEM について

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EELS

EELS について

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状態分析

状態分析 について


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