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J-GLOBAL ID:200902248431481743   整理番号:08A1065639

“視る”技術が導く新しい高分子材料の分析・評価技術 放射光X線顕微鏡によるマイクロ分析イメージング

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巻: 45  号: 10  ページ: 40-45  発行年: 2008年10月10日 
JST資料番号: S0870A  ISSN: 0910-2175  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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1980年代に超精密・超微細加工技術の著しい進歩により,高精度のX線レンズの製作が可能になり,さらにシンクロトロン放射光の登場により高強度のX線が利用可能になり,X線顕微鏡の開発研究は著しく進歩した。ここでは,放射光X線顕微鏡によるマイクロ分析イメージングの現状を紹介した。X線には軟X線(波長1~4nm程度)と,硬X線(波長0.05~0.25nm程度)がある。硬X線顕微鏡の研究が近年活発であり,微小X線ビームをプローブとする分析顕微鏡と,X線光学素子を拡大レンズに用いる結像型顕微鏡がある。X線光学素子,結像型顕微鏡,顕微干渉計によるX線位相計測について解説した。
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分類 (2件):
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分析機器  ,  顕微鏡法 

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