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J-GLOBAL ID：200902248544452529   整理番号：09A0508904

単結晶シリコン切削初期段階のデジタル顕微鏡観察

Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon

著者 (3件)： INAMURA T. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN) ,  SHISHIKURA Y. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN) ,  TAKEZAWA N. (Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
資料名： CIRP Annals. Manufacturing Technology  (CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 58  号： 1  ページ： 69-72  発行年： 2009年 
JST資料番号： E0026A  ISSN： 0007-8506  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有限要素ソリューションのローカルズーミングのためのデジタル顕微鏡(DM)を提案し,それを前欠陥のない単結晶シリコンの切削シミュレーションに適用した。DMから,切削性能はワーク寸法に大きく依存することが分かった。またDMにより,マイクロクラックは瞬間的に切れ刃周りのどの深さにも現れることが分かった。しかし,マクロクラックへの進展は切込み深さに依存する。マクロクラックへ進展する臨界切込み深さは,DMを使って得られたデータから推定できる。Copyright 2009 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 分子動力学 ,  *マイクロマシニング ,  *ケイ素 ,  *単結晶 ,  *顕微鏡観察 ,  切削 ,  切れ刃 ,  微小亀裂 ,  *単結晶シリコン

分類 (1件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶シリコン ,  切削 ,  初期段階 ,  デジタル ,  顕微鏡観察