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J-GLOBAL ID：200902249249543012   整理番号：06A0290962

収差補正技術を用いた応用研究最前線 走査透過電子顕微鏡の球面収差補正とその応用

Recent advances in aberration corrected TEM/STEM for materials research Spherical aberration correction of scanning transmission electron microscope and application

著者 (6件)： 中村邦康 (日立ハイテクノロジーズ) ,  今野充 (日立ハイテクノロジーズ) ,  矢口紀恵 (日立ハイテクノロジーズ) ,  谷口佳史 (日立ハイテクノロジーズ) ,  田中弘之 (日立ハイテクノロジーズ) ,  砂子沢成人 (日立ハイテクノロジーズ)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 41  号： 1  ページ： 16-20  発行年： 2006年03月31日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査透過電子顕微鏡(STEM)に球面収差補正器を取り付けるこ...

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (12件)：

• 1) Sherzer, O.: Optik, 2, 111-132 (1947)
• 2) Dellby, N., Krivanek, O.L., Nellist, P.D., Batson, NE. and Lupini, A.R.: J. Electron Microsc., 50, 177-185 (2001 )
• 3) Nellist, P.D. et al.: Science, 305, 1741-1741 (2004)
• 4) Zach, J. and Haider, M.: Optik, 98, 112-118 (1995)
• 5) Beck, VD.: Optik, 53, 241-255 (1979)

タイトルに関連する用語 (5件)： 収差補正 ,  応用 ,  研究 ,  走査透過電子顕微鏡 ,  球面収差補正