Torr圧力領域のラジオ周波数水素プラズマにおける化学と放電動力学の連結の研究

KALACHE B; NOVIKOVA T; FONTCUBERTA I MORRAL A; ROCA I CABARROCAS P; MORSCHEIDT W; HASSOUNI K

文献

J-GLOBAL ID：200902249255055372 整理番号：04A0555355

Torr圧力領域のラジオ周波数水素プラズマにおける化学と放電動力学の連結の研究

Investigation of coupling between chemistry and discharge dynamics in radio frequency hydrogen plasmas in the Torr regime

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資料名：
巻： 37 号： 13 ページ： 1765-1773 発行年： 2004年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

容量結合水素プラズマを一次元数値流体モデルと実験で研究した。...

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プラズマ診断 , 気体放電

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