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J-GLOBAL ID：200902249258919106   整理番号：09A0165252

マイクロメートルピッチのAl格子をもつテラヘルツワイヤグリッド偏光子

Terahertz wire-grid polarizers with micrometer-pitch Al gratings

著者 (5件)： YAMADA Itsunari (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31, Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, JapanInstitute ...) ,  TAKANO Keisuke (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31, Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, JapanInstitute ...) ,  HANGYO Masanori (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31, Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, JapanInstitute ...) ,  SAITO Mitsunori (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31, Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, JapanInstitute ...) ,  WATANABE Wataru (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31, Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, JapanInstitute ...)
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 34  号： 3  ページ： 274  発行年： 2009年02月01日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フォトリソグラフィーとウェットエッチングを用いて,Si基板上のマイクロメートルピッチのAl格子からなるテラヘルツワイヤグリッド偏光子を製作した。TMおよびTE透過率の比(消光比)は0.5THzにおいて35dBを超えた。Si基板がBrewster角の場合,製作した偏光子を通るTM波の約1THzでの偏光透過率は95%以上であり,消光比は45dB以上であった。製作した偏光子の消光比は通常の自立型テラヘルツワイヤグリッド偏光子よりも高い。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光子 ,  *電磁波 ,  *格子構造 ,  金属線 ,  アルミニウム ,  *フォトリソグラフィー ,  *エッチング ,  透過率 ,  偏光 ,  TMモード ,  TEモード ,  消光比 ,  基板 ,  ケイ素 ,  偏光角 ,  ウェットエッチング ,  *テラヘルツ波

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： Al ,  格子 ,  テラヘルツ ,  ワイヤグリッド偏光子