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J-GLOBAL ID：200902249952553860   整理番号：08A0656346

MEMS反射型波面センサの性能

Performance of a MEMS reflective wavefront sensor

著者 (9件)： ANDREWS Jonathan R. (Kirtland AFB, NM) ,  TEARE Scott W. (New Mexico Tech, NM) ,  RESTAINO Sergio R. (Kirtland AFB, NM) ,  MARTINEZ Ty (Kirtland AFB, NM) ,  WILCOX Christopher C. (Kirtland AFB, NM) ,  WICK David V. (Sandia National Lab., NM) ,  COWAN William D. (Sandia National Lab., NM) ,  SPAHN Olga B. (Sandia National Lab., NM) ,  BAGWELL E. (Sandia National Lab., NM)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 6888  ページ： 68880C.1-68880C.9  発行年： 2008年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 61個の六角形セグメントからなるMEMS可変構造ミラーのピストン,チップおよびチルトを183個のアクチュエータで制御する反射型波面センサを報告した。ミラーセグメントの最大ストロークは駆動電圧150Vにおいて26.7μmであり,大きな収差の補正に適している。この波面センサは反射型なので色分散が小さく,それぞれのスポットのディザリングにより大きな収差で重なったスポットを識別できる,などの利点が得られる。MEMSアレイから100mm離れたCMOSカメラを用いて,開ループ制御によるスポットの変位対電圧曲線を測定した。変位対電圧曲線は非線形性を示したが,再現性は約1/5画素であった。変位の標準偏差は0.4画素以下であった。

シソーラス用語： *光センサ ,  光反射 ,  *MEMS ,  *反射鏡 ,  可変構造系 ,  *適応光学 ,  *波面収差 ,  *収差補正 ,  電子カメラ ,  CMOS構造 ,  開ループ系 ,  フィードバック制御 ,  変位 ,  電圧依存性 ,  再現性 ,  標準偏差 ,  *マイクロミラー ,  *波面センサ ,  MOS構造

分類 (3件)： 光の像形成  (BD03050I) ,  光学情報処理  (BD03060T) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMS ,  波面センサ