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J-GLOBAL ID:200902249991392807   整理番号:09A0702014

CNx膜の摩擦摩耗特性に及ぼすカーボンオーバコートの影響

Influence of the Carbon-Overcoat on CNx Coating for the Friction and Wear Properties
著者 (4件):
資料名:
巻: 75  号: 754  ページ: 1859-1865  発行年: 2009年06月25日 
JST資料番号: F0045B  ISSN: 0387-5024  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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CNx膜の極表面に数nmのカーボンオーバーコートを成膜時に形成し,なじみ期間を短縮するための表面創製方法を提案した。異なる膜厚のカーボンオーバーコートCNx膜の創製を行い,カーボンオーバーコート膜厚が初期摩擦係数,なじみ期間及び構造変化に及ぼす影響を明らかにした。窒素中におけるSi3N4球との摩擦初期において,CNx膜のみに比べカーボンオーバーコートを3nm成膜した場合,初期摩擦係数は0.08程度と低く,400cycles程度の摩擦後に摩擦係数は0.01程度まで減少した。またその際の比摩耗量は最も低い約1.8×10-8mm3/Nmが得られ,CNx膜のみに比べ約1/3倍に減少した。ラマン分析の結果ID/IG比は0.87から0.91に増加し,Gピーク位置は摩擦前後で1534cm-1から1560cm-1まで増加した。(著者抄録)
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