文献
J-GLOBAL ID:200902250165596933 整理番号:03A0583364
超臨界流体中でのCu薄膜堆積
Cu Film Deposition in Supercritical Fluids
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著者 (1件):
近藤英一
近藤英一 について
名寄せID(JGPN) 200901100525782185 ですべてを検索
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(
山梨大
)
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資料名:
電気学会電子材料研究会資料 (電気学会研究会資料)
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JST資料番号 Z0970A ですべてを検索
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巻:
EFM-03
号:
19-27
ページ:
19-23
発行年:
2003年07月04日
JST資料番号:
Z0970A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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超臨界CO
2
中に有機金属を溶解させ,そ...
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引用文献 (14件):
NAMATSU, H. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 2655
KAWAKAMI, N. Jpn. J. Appl. Phys. 2000, 39, L182
FUKUDA, T. Proc. IEEE International Interconncet Technology Conference 2002, June 3-5, San Diego. 2002
MATSON, D. W. Adv. Cer. Mater. 1986, 1, 242
HYBERTSON, B. M. Mater. Res. Bull. 1991, 26, 1127
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