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J-GLOBAL ID：200902251068934987   整理番号：09A0707174

マイクロ超音波加工されたガラスセラミック材の表面健全性

Study on the Surface Integrity of Micro-Ultrasonic Machined Glass-ceramic Material

著者 (5件)： FAN Wei-Haw (Tam-Kang Univ., Taipei Hsien, TWN) ,  CHAO Choung-Lii (Tam-Kang Univ., Taipei Hsien, TWN) ,  CHOU Wen-Chen (Tam-Kang Univ., Taipei Hsien, TWN) ,  CHEN Ta-Tung (Hsing-Wo Coll., TWN) ,  CHAO Chung-Woei (Hsing-Wo Coll., TWN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 407/408  ページ： 731-734  発行年： 2009年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ超音波加工(MUSM)試験片の表面健全性は,工具の振動振幅,周波数と送り速度と,使用研磨材の種類,粒径と濃度の影響を受ける。大きな粒径の研磨材や速い送り速度では,通常散在したチッピングと深く侵入した亀裂を持つ粗い表面になり,高すぎる研磨材濃度は,通常悪い表面仕上げになった。最良の研磨材濃度は,60μm,5μm,2μm,0.3μmのSiCで,5%,10%,20%,33%であった。同じ振動振幅/周波数,同じ研磨材では,遅い送り速度が良い表面粗さと浅い表面下亀裂を生じる。良い表面仕上げを,粗い研磨材/大きな送り,細かい研磨材/小さな送りと微細な研磨材/保持を段階的に行う’多段’MUSMプロセスで,効率を放棄せずに達成できた。

シソーラス用語： *超音波加工 ,  *ガラスセラミック ,  マイクロマシニング ,  工具 ,  振動振幅 ,  周波数 ,  研磨剤 ,  速度 ,  表面仕上 ,  表面亀裂 ,  粒径 ,  健全性 ,  脆性材料 ,  損傷 ,  表面性状
準シソーラス用語： マイクロ加工 ,  送り速度

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 超音波加工 ,  ガラス ,  セラミック材 ,  健全性