ソース-バイア接地(SVG)構造を備えたシリコン基板上のAlGaN/GaNパワーHFET

HIKITA Masahiro; YANAGIHARA Manabu; NAKAZAWA Kazushi; UENO Hiroaki; HIROSE Yutaka; UEDA Tetsuzo; UEMOTO Yasuhiro; TANAKA Tsuyoshi; UEDA Daisuke; EGAWA Takashi

文献

J-GLOBAL ID：200902252258388837 整理番号：05A0771217

ソース-バイア接地(SVG)構造を備えたシリコン基板上のAlGaN/GaNパワーHFET

AlGaN/GaN Power HFET on Silicon Substrate With Source-Via Grounding (SVG) Structure

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資料名：
巻： 52 号： 9 ページ： 1963-1968 発行年： 2005年09月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

SVG構造を備えた4インチ導電性シリコン基板上に製作されるハ...

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