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J-GLOBAL ID：200902252511323429   整理番号：05A0270156

アルゴンイオンビーム使用のSEM用断面試料調製装置-断面ポリッシャ--

Cross Section Specimen Preparation Device Using Argon Ion Beam for SEM-Cross Section Polisher (CP) SM-09010-
著者 (1件)：
SHIBATA M

SHIBATA M について

(JEOL Ltd.)

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資料名：
JEOL News  (JEOL News)

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巻： 39  号： 1  ページ： 28-31  発行年： 2004年07月20日 
JST資料番号： Y0015B  ISSN： 1349-6832  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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走査電子顕微鏡を使用して,試料断面観察を要求されることがある...
シソーラス用語：
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*走査電子顕微鏡

走査電子顕微鏡 について

,...
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シソーラス用語/準シソーラス用語
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イオンビームエッチング

イオンビームエッチング について


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分類 (1件)：
分類
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顕微鏡法 
(BK01040E)

顕微鏡法 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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アルゴン

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イオンビーム

イオンビーム について

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SEM

SEM について

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試料調製

試料調製 について

, 
ポリッシャ

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