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J-GLOBAL ID:200902252647846891   整理番号:06A0853938

シリコンホトレジストを使用しないレプリカ成形法によるポリジメチルシロキサン中で迅速にマイクロチャンネル製作するための実際的な方法

A Practical Method for Rapid Microchannel Fabrication in Polydimethylsiloxane by Replica Molding without Using Silicon Photoresist
著者 (8件):
資料名:
巻: 39  号: 10  ページ: 1108-1114 (J-STAGE)  発行年: 2006年 
JST資料番号: S0629A  ISSN: 0021-9592  CODEN: JCEJAQ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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ポリジメチルシロキサン(PDMS)上にミクロ流体素子を製作す...
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
引用文献 (11件):

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