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J-GLOBAL ID：200902252695445297   整理番号：05A0893792

3D表面の形態測定と自動集光システム

3D Surface Morphology Measurement and Auto-focusing System

著者 (2件)： CHEN Qi (Yanshan Univ., Qinhuangdao, CHN) ,  ZANG Huai-Pei (Yanshan Univ., Qinhuangdao, CHN)
資料名： Semiconductor Photonics and Technology  (Semiconductor Photonics and Technology)
巻： 11  号： 3  ページ： 208-211  発行年： 2005年08月 
JST資料番号： W1382A  ISSN： 1007-0206  CODEN： SPTEF9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3D表面の形態の測定と自動集光システムについて報告する。この研究で作製した自動集光システムの集光領域は±150μmまで拡張させることができた。また,その集光精度は±0.3μmである。そして,自動集光に要する時間は4~8sである。このシステムを基本として,自動集光のための時間をさらに短縮し,測定精度を改善するには,作業台のz方向に関する自動集光変位センサと移動制限構造を設置する必要があることが分かった。

シソーラス用語： *形状測定 ,  *表面性状 ,  自動化 ,  集光 ,  精度 ,  変位測定 ,  作業台

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 3D ,  形態測定 ,  集光