文献

J-GLOBAL ID：200902252884511411   整理番号：08A1148866

サブマイクロメータ水平解像度の偏光解析顕微鏡観察法によるナノメータ厚液膜ディウェッティングの動画撮像

Motion Picture Imaging of a Nanometer-Thick Liquid Film Dewetting by Ellipsometric Microscopy with a Submicrometer Lateral Resolution

著者 (4件)： FUKUZAWA Kenji (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YOSHIDA Tomohiko (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITOH Shintaro (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ZHANG Hedong (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Langmuir  (Langmuir)
巻： 24  号： 20  ページ： 11645-11650  発行年： 2008年10月21日 
JST資料番号： A0231B  ISSN： 0743-7463  CODEN： LANGD5  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 固体表面上のディウェッティングは液膜と固体表面間の分子間相互作用を表すため興味がもたれていて,ディウェッティングの制御はHDD内のナノメータ厚潤滑膜やマイクロエレクトロニクスデバイス内のフォトレジスト膜で重要である。ペルフルオロポリエーテルを用いて0.1μmのオーダーの高水平分解能の新しい偏光解析顕微鏡を用いて,ナノ構造固体表面上でのナノメータ厚不安定液膜のディウェッティングを動的に可視化した。ディウェッティング過程は分離圧の符号に著しく依存し,分離圧が負の場合はスピノーダルディウェッティング過程により膜が破れて液滴を生成する過程は単段階で進行する。分離圧が正の場合は厚い部分の圧力と薄い部分の圧力が平衡に達するとスピノーダルディウェッティング過程による膜の破れが中止し,溝が不均一にできて成長する。

シソーラス用語： 分解能 ,  偏光解析法 ,  顕微鏡観察 ,  単位 ,  液膜 ,  動画像 ,  表面 ,  分子間相互作用 ,  圧力 ,  スピノーダル分解 ,  液滴 ,  不均一性 ,  *フッ素化重合体 ,  ポリエーテル ,  潤滑剤 ,  *濡れ
準シソーラス用語： 水平解像度 ,  ナノメータ ,  *ディウェッティング ,  固体表面 ,  分離圧 ,  *ペルフルオロポリエーテル

分類 (3件)： 高分子溶液の物理的性質  (CG02013S) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (11件)： サブ ,  マイクロメータ ,  水平解像度 ,  偏光解析 ,  顕微鏡観察法 ,  ナノメータ ,  厚 ,  液膜 ,  ディウェッティング ,  動画 ,  撮像