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J-GLOBAL ID：200902253194726810   整理番号：05A0381005

スパッタ蒸着した銀添加剤を含むすずドープ酸化インジウム膜の微細構造

Microstructure of sputter deposited tin doped indium oxide films with silver additive

著者 (5件)： LU J. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  HULTAKER A. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  NIKLASSON G.A. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  GRANQVIST C.G. (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  OLSSON E. (Chalmers Univ. Technol., Goeteborg, SWE)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 479  号： 1/2  ページ： 107-112  発行年： 2005年05月23日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ITOとAgの逐次反応性DCマグネトロンスパッタリングにより...

シソーラス用語： *酸化インジウム ,...
準シソーラス用語： ITO【固溶体】 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： スパッタ蒸着 ,  銀 ,  添加剤 ,  すず ,  ドープ ,  酸化インジウム ,  微細構造