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J-GLOBAL ID：200902253278959861   整理番号：08A1192461

環境と安全・安心に寄与するMEMSと今後の取組み

MEMS Technology that Contributes to the Environment and Safety

著者 (2件)： 友高正嗣 (富士電機システムズ 東京工場) ,  山下悟 (富士電機システムズ 東京工場)
資料名： 富士時報  (Fuji Electric Journal)
巻： 81  号： 5  ページ： 358-361  発行年： 2008年09月10日 
JST資料番号： F0080A  ISSN： 0367-3332  CODEN： FUJIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMSは小型化や低消費電力などを実現できるため,幅広くさまざまな製品に応用されている。富士電機においてのMEMS製品への取組みの系譜について紹介するとともに,特に環境と安心・安全に寄与する製品について,さまざまな実施例を本稿において述べる。併せて,将来への取組みについても紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *センサ ,  *固体回路部品 ,  *CMOS構造 ,  ケイ素 ,  速度センサ ,  集積
準シソーラス用語： *インターポーザ ,  シリコン ,  加速度センサ ,  集積化

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (1件)：

• Sakata,K.et al. シリコンインターボーザ基板を用いたMEMSセンサシステムの開発. Technical Meeting on Sensors and Micromachines 2007. p. 39-42.

タイトルに関連する用語 (2件)： 環境 ,  MEMS