窒化アルミニウムのエーロゾル析出における一次粉末の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902253529534067 整理番号：06A0095491

Effect of primary powder in aerosol deposition of aluminum nitride

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資料名：
巻： 30 号： 4 ページ： 1021-1024 発行年： 2005年12月
JST資料番号： L4468A ISSN： 1382-3469 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ヘリウムガスを用いたガラス基板上への窒化アルミニウムのエーロ...

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非金属材料へのセラミック被覆 , 薄膜成長技術・装置

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