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J-GLOBAL ID：200902255122593371   整理番号：09A0710987

オンチップ光配線

On-Chip Optical Interconnect

著者 (22件)： OHASHI Keishi (Nano Electronics Res. Lab., Ibaraki, JPN) ,  NISHI Kenichi (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  SHIMIZU Takanori (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  NAKADA Masafumi (Nano Electronics Res. Lab., Ibaraki, JPN) ,  FUJIKATA Junichi (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  USHIDA Jun (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  TORII Sunao (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  NOSE Koichi (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  MIZUNO Masayuki (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  YUKAWA Hiroaki (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  KINOSHITA Masao (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  SUZUKI Nobuo (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  GOMYO Akiko (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  ISHI Tsutomu (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  OKAMOTO Daisuke (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  FURUE Katsuya (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  UENO Toshihide (MIRAI-Selete, Tsukuba, JPN) ,  TSUCHIZAWA Tai (NTT, Atsugi, JPN) ,  WATANABE Toshifumi (NTT, Atsugi, JPN) ,  YAMADA Koji (NTT, Atsugi, JPN) ,  ITABASHI Sei-ichi (NTT, Atsugi, JPN) ,  AKEDO Jun (AIST, Tsukuba, JPN)
資料名： Proceedings of the IEEE  (Proceedings of the IEEE)
巻： 97  号： 7  ページ： 1186-1198  発行年： 2009年07月 
JST資料番号： D0378A  ISSN： 0018-9219  CODEN： IEEPAD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： LSIチップ上のシリコンベース光学層のフリップチップ接続構造を開発した。このオンチップ光配線の費用対効果の高い,光電子(OE)および電子光(EO)技術により,消費電力を低減した。表面プラズモンアンテナを用いSiON光導波路と結合した複数のシリコンナノフォトダイオードを光検出器として配置した光層内に,光信号を導きシリコンナノフォトダイオードに分配した。検出した光信号を,LSI内の相互インピーダンス増幅器に電気信号として送った。個別部品の開発においては,しばしば大域的最適化ではなく局所最適化に焦点をあてた。電気光学変調器の消費電力および設置面積が大きいため,より少数の変調器の使用および高電気光学係数材料の検討を行った。オンチップ光WDM技術の,温度変化に対するロバスト性を確認した。

シソーラス用語： LSI【IC】 ,  ケイ素 ,  フリップチップ法 ,  消費電力 ,  *表面プラズモン ,  アンテナ ,  *光導波路 ,  光信号 ,  光変調素子 ,  WDM【信号】 ,  ロバスト性
準シソーラス用語： SiON ,  オンチップ ,  ナノフォトダイオード ,  *光配線 ,  相互インピーダンス増幅器 ,  電気光学係数 ,  *電気光学変調器 ,  費用対効果

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (2件)： オンチップ ,  光配線